深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.

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等離子去膠機(灰化機)

應用范圍:

? · 去除光刻膠

· 晶圓打膠

· 濕法刻蝕前的晶圓清潔

· 去除 SU-8

· 清潔和表面活化

· 化學微量分析中的低溫材料灰化

· 過濾器和濾膜的清潔

· 環氧樹脂去除

等離子去膠機是深圳金徠針對小體積產品,小批量生產和實驗室晶圓處理設計,適用于晶圓級和3D封裝應用的理想設備。等離子應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機污染去除等。


產品規格



型號

JL-RR05

JL-RR10

JL-RR15

高頻輸出功率

500W

500W

1000W

頻率

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

檢測功能

氣壓檢測、 門檢測

氣壓檢測、 門檢測

氣壓檢測、 門檢測

真空泵

干式真空泵

干式真空泵

干式真空泵

氣體控制

高精度質量流量計(MFM)

高精度質量流量計(MFM)

高精度質量流量計(MFM)

質量流量計精度

+/-0.2% F.S

+/-0.2% F.S

+/-0.2% F.S

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

反應腔

石英 D160× 220 mm

石英 D240× 260 mm

石英 D240× 460 mm

反應氣體

路系統(可選)

路系統(可選)

路系統(可選)

氣體流量

0~300SCCM

0~300SCCM

0~500SCCM

外形尺寸

438× 520× 760mm

438× 520× 760mm

650× 650× 650mm

重量

 60kg

 60kg

 70kg

輸入電源

單相 220V, 50/60Hz  8A

單相 220V, 50/60Hz  8A

單相 220V, 50/60Hz  8A


應用范
 ? 去除光刻膠
 晶圓打膠
 濕法刻蝕前的晶圓清潔
 去除 SU-8
 清潔和表面活化
 化學微量分析中的低溫材料灰化
 過濾器和濾膜的清潔

聯系方式



詳情請撥打:135-3805-8187 電話咨詢 (微信同號)

等離子去膠機(灰化機)
應用范圍:

? · 去除光刻膠

· 晶圓打膠

· 濕法刻蝕前的晶圓清潔

· 去除 SU-8

· 清潔和表面活化

· 化學微量分析中的低溫材料灰化

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